DEPOSICIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE LAS PROPIEDADES DE RECUBRIMIENTOS DE TaN DEPOSITADOS CON DIFERENTES CONTENIDOS DE NITRÓGENO
.
Este trabajo se enfocó en el estudio de la influencia del contenido de nitrógeno sobre la microestructura, composición química, propiedades mecánicas y tribológicas de los recubrimientos de TaN depositados sobre acero inoxidable 420 y silicio (100) mediante la pulverización catódica. Los recubrimientos se depositaron en una atmosfera de argón/ nitrógeno variando el flujo de nitrógeno entre 12% y 25%, y fueron caracterizados por SEM, EDX, DRX, AFM, Microraman, Microindentación y usando un tribómetro tipo bola sobre disco. Se apreció una refinación de la estructura columnar de los recubrimientos acompañado de una disminución de su espesor con el incremento del contenido de nitrógeno en éstos. Inicialmente se observó un crecimiento preferencia... Ver más
1794-1237
2463-0950
13
2016-10-25
69
80
Revista EIA - 2016
info:eu-repo/semantics/openAccess
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
